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ニデックアドバンステクノロジー、2種類の半導体計測用プローブ ...

1製品目は、半導体デバイス温度測定プローブカード「TC プローブカード」で、熱電対技術を適用したプローブ「TC プローブ」を搭載。既存技術と同様に電極PADへコンタクトして、ウェハ検査と同時にデバイスの表面温度を高精度に測定することが可能になるという。 ...もっと読む